檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "Patterning".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="方劭云"
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隨著先進製程快速發展下，佈局圖案(Layout pattern)更容易受到製程變異(Process variation)的影響，其中有些佈局圖案雖然能通過設計法則驗證(Design rule che…
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由於下一代微影技術的延遲，對於現今10 奈米的製程節點，多 圖樣微影技術仍然是突破微影極限的主要方案。在本篇論文中，我們 提出一個保證連通層可分解性之三圖樣微影感知的細部繞線器。在此 研究中，繞線器…
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定向自組裝多圖案混合式微影(directed selfassembly technology with multiple patterning lithography)非常適用於製造 10 奈米以下…
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本論文主要目標在於提出一種構建多元件高精度匹配佈局的方法。使用這種方法，工程師將有更大的自由度，依據其創新和電路準確度，來選擇佈局模式。 本論文設計了一顆14位元電流導向式數位至類比資料轉換器來驗證…
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使用嵌段共聚物(block copolymers, BCP)的定向組裝技術 (Directed self-assembly, DSA)已經是一項具有發展性的光刻技術，可以在集成電路上生成微小的圖像。…